半導体搬送ロボット

SCR3160CSN3軸円筒座標型クリーンロボット

  • SCR3160CSN

環境と仕様

製品概要

モデル名
SCR3160CSN
設置環境
クリーンルーム内大気
アーム
シングルアーム
到達距離
340 mm (第3関節中心距離)
昇降距離
200 mm / 300 mm / 400 mm / 450 mm / 500 mm
可搬質量
3 kg (第3関節換算)

製品動画

製品型式一覧

型式と昇降距離(mm)
SCR3160CSN-200-CM 200 mm
SCR3160CSN-300-CM 300 mm
SCR3160CSN-400-CM 400 mm
SCR3160CSN-450-CM 450 mm
SCR3160CSN-500-CM 500 mm

製品特徴

クローズドループ制御のロボットに、疑似多軸仕様をラインナップしました。
走行軸なしで並列配置されたチャンバーステージへ搬送することができます。
疑似多軸仕様の搬送動画についてはこちらをご覧ください。 

スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットです。
低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ~300 mmウェーハ対応の新型シングルアームロボットです。

  • 急激な負荷変動や急加速でも脱調しないクローズドループ制御を採用し、ロボットの信頼性を更に向上
  • アブソリュートエンコーダを搭載していることにより、現在の位置を把握、原点復帰後動作にかかる時間を短縮
  • バッテリ不要な機械式多回転アブソリュートセンサを搭載
  • 従来機と互換性(取付互換、性能互換)があり、載せ替えが可能
  • 高剛性・アーム第3関節換算3 kg (リストブロック、チャック、ワーク含む)
  • アームバリエーション:100 mm, 130 mm, 160 mm, 200 mm
  • 装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの装置への固定方法を選択可能
  • ベルヌーイチャックを搭載可能(オプション)

標準仕様

本仕様は当社標準チャック(吸着タイプ)装着時の仕様です
ロボット仕様
ロボット型式 SCR3160CSN-300-CM
被搬送物 ~300 mmウェーハ
(その他特殊なワーク、形状、材質へも柔軟にカスタマイズ対応致します)
ウェーハ保持方式 チャックによる真空吸着
機械構造形式 円筒座標型
制御軸 3軸
モータタイプ ステッピングモータ(クローズドループ)
動作範囲 ワーク中心到達距離:552.7 mm
旋回角度(θ軸):340度
上下ストローク(Z軸):300 mm
搬送速度(平均) アーム(R軸):610 mm/sec
旋回角度(θ軸):340 度/sec
上下ストローク(Z軸):250 mm/sec
搬送速度(最高) アーム(R軸):1220 mm/sec
旋回角度(θ軸):500度/sec
上下ストローク(Z軸):320 mm/sec
分解能 アーム(R軸):10.0 µm以下
旋回角度(θ軸):0.0015度
上下ストローク(Z軸):2.0 µm
繰り返し精度 ±0.1 mm以内
クリーン度 ISOクラス2(駆動部排気時)
ユーティリティ 電流電圧:DC24V±10% 10A
真空:-53 kPa以上
コントローラ仕様
コントローラ型式 C4000Bシリーズ
インタフェース RS232C及びパラレルフォトI/O

 外観図ダウンロード

 外観図(標準仕様)

  • SCR3160CSN

オプション

リストブロックユニット
型式 リストブロック長 マッピングセンサ 取付チャック厚
SARS00169 38 mm なし 2 mm
SARS00958 38 mm なし 3 mm
SARS02659 75 mm なし 2 mm
SARS02967 75 mm なし 3 mm
SARS08603 80 mm 透過センサ/反射型センサ 2 mm

※上記は当社標準リストブロックユニットの仕様です。表にない仕様にも対応可能です。
※当社標準以外のリストブロックユニットは下記アイテムをクリックするとご覧頂けます。

チャックユニット
型式 披搬送サイズ チャック形状(チャック厚) 保持方式
SC-IW-200 3'',100 mm〜200 mm I 型(2 mm) 吸着保持
SC-IW-240 3'',100 mm〜300 mm I 型(2 mm) 吸着保持
SC-YW-200 100 mm〜200 mm Y 型(2 mm) 吸着保持
SC-YW-227 100 mm〜300 mm Y 型(2 mm) 吸着保持
SC-YW-240 100 mm〜300 mm Y 型(2 mm) 吸着保持
3D-02229 150 mm〜300 mm Y 型(2 mm) 吸着保持
SC3-YW-240 300 mm Y 型(3 mm) 吸着保持
3D-01661 300 mm Y 型(3 mm) 吸着保持
SC3-IW-240 300 mm I 型(3 mm) 吸着保持

※上記は当社標準チャックユニットの仕様です。表にない仕様にも対応可能です。
※当社標準以外のチャックユニットは下記アイテムをクリックするとご覧頂けます。

到達距離
チャック/リストブロック SARS00169 SARS02659 SARS08603 SARS00958 SARS02967
SC-IW-200 502.7 mm 565 mm 570 mm - -
SC-IW-240 542.7 mm 605 mm 610 mm - -
SC-YW-200 512.7 mm 575 mm 580 mm - -
SC-YW-227 539.7 mm 602 mm 607 mm - -
SC-YW-240 552.7 mm 615 mm 620 mm - -
3D-02229 552.7 mm 615 mm 620 mm - -
SC3-YW-240 - - - 552.7 mm 615 mm
3D-01661 - - - 552.7 mm 615 mm
SC3-IW-240 - - - 542.7 mm 605 mm
※表記の到達距離はリストブロックユニット及びチャックの組み合わせによる一例です。上記以外にも設定可能です。
その他のオプション

※仕様により上記ティーチングボックスが使用できない場合があります。