ジェーイーエル半導体ロボット比較表
大気ロボット：SCR/STCRシリーズ
| 機種 | アーム/ チャック |
機械構造 | モータ仕様 | 被搬送物 |
|---|---|---|---|---|
| STCR4160SN （クローズドループ制御） |
 |
4軸 円筒座標 |
ステッピング （クローズドループ） |
300 mm以下 |
| STCR4160SN （薄物ウェーハ及び ウェーハ周辺接触吸着対応） |
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4軸 円筒座標 |
ステッピング | 300 mm以下 |
| STCR4160S | |
4軸 円筒座標 |
ステッピング | 300 mm以下 |
| STCR4160S （ベルヌーイ仕様 反転機構付） |
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4軸 円筒座標 |
ステッピング | 150 mm, 200 mm |
| STCR4160S （サセプタ · トレイ搬送仕様） |
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4軸 円筒座標 |
ステッピング | サセプタ · トレイ |
| SCR3160CSN （クローズドループ制御） |
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3軸 円筒座標 |
ステッピング （クローズドループ） |
300 mm以下 |
| SCR3160CS | |
3軸 円筒座標 |
ステッピング | 300 mm以下 |
| SCR3100S （小径ウェーハ用） |
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3軸 円筒座標 |
ステッピング | 150 mm以下 |