ジェーイーエル半導体ロボット比較表

大気ロボット:SCR/STCRシリーズ

掲載ロボットは当社半導体ロボットの一例です
機種 アーム/
チャック
機械構造 モータ仕様 被搬送物
STCR4160SN
(クローズドループ制御)
ツイン 4軸
円筒座標
ステッピング
(クローズドループ)
300 mm以下
STCR4160SN
(薄物ウェーハ及び
ウェーハ周辺接触吸着対応)
ツイン 4軸
円筒座標
ステッピング 300 mm以下
STCR4160S ツイン 4軸
円筒座標
ステッピング 300 mm以下
STCR4160S
(ベルヌーイ仕様 反転機構付)
ツイン 4軸
円筒座標
ステッピング 150 mm, 200 mm
STCR4160S
(サセプタ · トレイ搬送仕様)
ツイン 4軸
円筒座標
ステッピング サセプタ · トレイ
SCR3160CSN
(クローズドループ制御)
シングル 3軸
円筒座標
ステッピング
(クローズドループ)
300 mm以下
SCR3160CS シングル 3軸
円筒座標
ステッピング 300 mm以下
SCR3100S
(小径ウェーハ用)
シングル 3軸
円筒座標
ステッピング 150 mm以下