ジェーイーエルシステム比較表

大気:SORTER SYSTEM

   
型式 対象ウェーハ スループット タイプ
SORTER SYSTEM 300 mmシリコンウェーハ 300枚/h 4ポートインラインタイプ
SORTER SYSTEM 300 mmシリコンウェーハ 400枚/h 4ポート対向タイプ
SORTER SYSTEM 300 mmシリコンウェーハ 600枚/h 4ポートインラインタイプ
SORTER SYSTEM
150 mm ガラス、サファイア、GaAsウェーハ 140枚/h カセット2段タイプ