本社ショールーム
ジェーイーエル 本社 お問い合わせ先
- 所在地
- 〒720-0831 広島県福山市草戸町2-8-20
- TEL
- 084-932-6500 (代表)
050-3000-8542 (IP電話) - FAX
- 084-932-6501 (代表)
084-932-6502 (資材・製造)
展示ロボット
本社ショールームでは新製品や主力製品を中心とした以下のロボットを展示しています。
上記お問い合わせ先までご連絡の上、ぜひご来場賜りますよう宜しくお願い申し上げます。
5軸水平多関節型クリーンロボット：GTFR5280/
マルチワークアライナ：SAL38C3HV
300 mm対応の半導体製造装置内、EFEMのウェーハ搬送に適しています。
各種ウェーハに対応した200〜300 mm新型アライナ。
300mmウェーハ 25枚一括搬送：KHR3480
25枚のウェーハを一括して移し替え可能。一括搬送の為、移し替え時間の大幅短縮可能。旋回軸搭載により、複数カセットのレイアウト対応可能。
5枚一括可変チャック搭載仕様：MTCR4160L
縦型炉などのピッチの異なるカセットに対する高速搬送を実現しました。
ウェーハ搬送用ロボット：STCR4160SN-300-CM/
アライナ：SAL38C2（光学式アライナ）
低価格、高速搬送、脱調レスを実現した新型ツインアームロボット。
半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応したアライナ。
100mmウェーハ対応卓上ローダーシステム：SSY-10000
2、3インチ、100mm ガラス、サファイア、SiC、GaN、等々のウェーハやガラス基板に対応。卓上にある顕微鏡や検査装置の半自動化を行うのに最適です。
卓上ローダーシステム： SSY-10000
人が手でウェーハを取り扱うことによるリスクを解消し、品質の安定と歩留まりの向上を目的としたウェーハ供給システムを提案します。
反り、薄物ウェーハ対応ベルヌーイチャック
（接触タイプ/非接触タイプ）、ベルヌーイピンセット
多くのお客様のニーズにお応えし、反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに対応し、コストパフォーマンスに優れたベルヌーイチャックを開発しました。お客様のコンセプトに合わせたチャック形状の提案を行います。
