半導体搬送ロボット

GTFR5280(300 mmウェーハ対応)5軸水平多関節型クリーンロボット

  • GTFR5280-320-DM

環境と仕様

環境と仕様

製品概要

モデル名
GTFR5280
設置環境
クリーンルーム内大気
アーム
シングルアーム
到達距離
553 mm (第3関節中心到達距離)
昇降距離
320 mm
可搬質量
4 kg (第3関節換算)

製品動画

画像、動画はGTFR5280-320-DMです

製品型式一覧

型式と昇降距離(mm)
GTFR5280-320-DM 320 mm

製品特徴

300 mm対応の5軸水平多関節型クリーンロボット。
ツインチャックを搭載することでシングルアームでありながらツインアームの機能を確保。
300 mm対応の半導体製造装置内、EFEMのウェーハ搬送に適しています。
弊社従来製品のGTCRと比べて動作禁止エリア、速度制限の影響を減らしサイクルタイム向上。

  • ロボットのみで3FOUP対応可能
  • ツインチャック採用によりウェーハ交換時間の短縮
  • 全軸アブソリュートエンコーダ内蔵ACサーボモータ使用(バッテリレス)
  • ウェーハ保持:真空吸着、落とし込み、エッジグリップチャック
  • 被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックで対応可能

標準仕様

本仕様は当社標準チャック(吸着タイプ)装着時の標準仕様の一例です
ロボット仕様
ロボット型式GTFR5280-320-DM
被搬送物〜300 mmウェーハ
ウェーハ保持方式チャックによる真空吸着で保持
機械構造形式水平多関節型
制御軸5軸
モータタイプ全軸ACサーボモータ(バッテリレス)
動作範囲ワーク中心到達距離:893 mm
上下ストローク(Z軸):320 mm
搬送速度(平均)アーム(R軸):900 mm/sec(円筒動作時)
上下ストローク(Z軸):320 mm/sec
搬送速度(最高)アーム(R軸):1500 mm/sec(円筒動作時)
上下ストローク(Z軸):540 mm/sec
繰り返し精度±0.05 mm以内
クリーン度ISOクラス1
ユーティリティ電源:単相AC200V±10% 2 kVA
真空:-75 kPa以上(吸着チャック取付の場合)
質量ロボット本体 約80 kg

 外観図ダウンロード

 外観図(標準仕様)

  • WJ0331

オプション

その他のオプション
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