展示会情報 2013年

SEMICON JAPAN 2013

会期
2013年12月04日(水)~06日(金)
主な展示機種
  • 450mmウェーハ搬送ロボット/450mmウェーハアライナ:「GCR4280-420-AM/SAL30J1HV(新型機)」
  • ウェーハ搬送ロボット/ウェーハアライナ:「STCR4160SN-300-PM(新型機)/SAL3481HV(新型機)」
  • 卓上ローダーシステム:「SSY-10000」
  • ウェーハ搬送ロボット/ベルヌーイアライナ:「STCR4160SN-300-PM(新型機)/SAL3481」
  • 反り、薄物ウェーハ対応ベルヌーイチャック、ベルヌーイピンセット:「ベルヌーイピンセット:BRP-01」

SEMICON TAIWAN 2013

会期
2013年09月04日(水)~06日(金)
主な展示機種
  • ベルヌーイピンセット
  • 反り、薄物ウェーハ対応ベルヌーイチャック(ジェーイーエル製)
  • 大気ツインアーム搬送ロボット:「MTCR4160CS-300」
  • 2、3インチ、100~150mmウェーハ対応小型搬送ロボット/アライナ:「SCR3100S-200-PM/SAL3261GR」

OPTO TAIWAN 2013

会期
2013年06月18日(火)~20日(木)
主な展示機種
  • 大気ツインアーム搬送ロボット:「MTCR4160CS-300」
  • 反り、薄物ウェーハ対応ベルヌーイチャック(ジェーイーエル製)
  • 2、3インチ、100~150mmウェーハ対応小型搬送ロボット/アライナ:「SCR3100S-200-PM/SAL3261GR」

第5回次世代照明技術展

会期
2013年01月16日(水)~18日(金)
主な展示機種
  • バッチ(サセプタ、トレイ)処理装置へのロード/アンロードシステム:「SSY-10020」
  • 反り、薄物ウェーハ対応ベルヌーイチャック(ジェーイーエル製)
  • 薄物150、200mmウェーハ対応搬送ロボット/アライナ:「STCR4160S-300-PM/SAL3682」
  • 2、3インチ、100、150mmウェーハ対応小型搬送ロボット/アライナ:「SCR3100S-200-PM/SAL3261GR」