展示会情報 2013年

SEMICON JAPAN 2013

会期

2013年12月04日(水)～06日(金)

主な展示機種

• 450mmウェーハ搬送ロボット/450mmウェーハアライナ：「GCR4280-420-AM/SAL30J1HV(新型機)」
• ウェーハ搬送ロボット/ウェーハアライナ：「STCR4160SN-300-PM(新型機)/SAL3481HV(新型機)」
• 卓上ローダーシステム：「SSY-10000」
• ウェーハ搬送ロボット/ベルヌーイアライナ：「STCR4160SN-300-PM(新型機)/SAL3481」
• 反り、薄物ウェーハ対応ベルヌーイチャック、ベルヌーイピンセット：「ベルヌーイピンセット：BRP-01」
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SEMICON TAIWAN 2013

会期

2013年09月04日(水)～06日(金)

主な展示機種

• ベルヌーイピンセット
• 反り、薄物ウェーハ対応ベルヌーイチャック（ジェーイーエル製）
• 大気ツインアーム搬送ロボット：「MTCR4160CS-300」
• 2、3インチ、100～150mmウェーハ対応小型搬送ロボット/アライナ：「SCR3100S-200-PM/SAL3261GR」
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OPTO TAIWAN 2013

会期

2013年06月18日(火)～20日(木)

主な展示機種

• 大気ツインアーム搬送ロボット:「MTCR4160CS-300」
• 反り、薄物ウェーハ対応ベルヌーイチャック（ジェーイーエル製）
• 2、3インチ、100～150mmウェーハ対応小型搬送ロボット/アライナ：「SCR3100S-200-PM/SAL3261GR」
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第5回次世代照明技術展

会期

2013年01月16日(水)～18日(金)

主な展示機種

• バッチ（サセプタ、トレイ）処理装置へのロード/アンロードシステム：「SSY-10020」
• 反り、薄物ウェーハ対応ベルヌーイチャック（ジェーイーエル製）
• 薄物150、200mmウェーハ対応搬送ロボット/アライナ：「STCR4160S-300-PM/SAL3682」
• 2、3インチ、100、150mmウェーハ対応小型搬送ロボット/アライナ：「SCR3100S-200-PM/SAL3261GR」
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