半導体搬送ロボット

GTCR5280(300 mmウェーハ搬送)5軸水平多関節型クリーンロボット

  • GTCR5280-300-AM

環境と仕様

製品概要

モデル名
GTCR5280
設置環境
クリーンルーム内大気
アーム
シングルアーム
到達距離
553 mm (第3関節中心距離)
昇降距離
300 mm
可搬質量
4.0 kg (第3関節換算)

製品動画

動画はGTCR5280-300-AMです

製品型式一覧

型式と昇降距離(mm)
GTCR5280-300-AM 300 mm

製品特徴

300 mm対応の5軸水平多関節型クリーンロボット。
ツインチャックを搭載することでシングルアームでありながらツインアームの機能を確保。
300 mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。
アブソリュートエンコーダ仕様のサーボモータを使用しており、原点復帰が不要です。

  • アームバリエーション: 210 mm、280 mm
  • ロボットのみで2FOUP対応可能
  • ツインチャック採用によりウェーハ交換時間の短縮
  • シングルチャック仕様も選択可能
  • 装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能
  • 動作モニター装備
  • 制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O
  • 全軸アブソリュートエンコーダ内蔵ACサーボモータ使用
  • S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送
  • ウェーハ保持:真空吸着、落とし込み、エッジグリップチャック、ベルヌーイチャック
  • チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対応可能
  • 被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能

標準仕様

本仕様は当社標準チャック(吸着タイプ)装着時の標準仕様の一例です
ロボット仕様
ロボット型式GTCR5280-300-AM
被搬送物〜300 mmウェーハ
ウェーハ保持方式チャックによる真空吸着で保持
機械構造形式水平多関節型
制御軸5軸
モータタイプ全軸ACサーボモータ
動作範囲ワーク中心到達距離:953 mm
旋回角度(θ軸):335度
上下ストローク(Z軸):300 mm
搬送速度(平均)アーム(R軸):833 mm/sec
旋回角度(θ軸):250度/sec
上下ストローク(Z軸):300 mm/sec
繰り返し精度±0.2 mm以内
クリーン度ISOクラス2以下(ISO14644)(駆動部排気時)
ユーティリティ電源:単相AC200V±10% 2 kVA 真空:-53 kPa以上(吸着チャック取付の場合)
質量ロボット本体 約50 kg
コントローラ仕様
コントローラ型式C5000Sシリーズ
インタフェースRS232C, パラレルフォトI/O

 外観図ダウンロード

 外観図(標準仕様)

  • WJ0210A

オプション

チャックユニット
型式 披搬送サイズ チャック形状(チャック厚) 保持方式
SC-IW-200 3'',100 mm〜200 mm I 型(2 mm) 吸着保持
SC-IW-240 3'',100 mm〜300 mm I 型(2 mm) 吸着保持
SC-YW-200 100 mm〜200 mm Y 型(2 mm) 吸着保持
SC-YW-227 100 mm〜300 mm Y 型(2 mm) 吸着保持
SC-YW-240 100 mm〜300 mm Y 型(2 mm) 吸着保持
3D-02229 150 mm〜300 mm Y 型(2 mm) 吸着保持
SC3-YW-240 300 mm Y 型(3 mm) 吸着保持
3D-01661 300 mm Y 型(3 mm) 吸着保持
SC3-IW-240 300 mm I 型(3 mm) 吸着保持

※上記は当社標準チャックユニットの仕様です。表にない仕様にも対応可能です。
※当社標準以外のチャックユニットは下記アイテムをクリックするとご覧頂けます。

その他のオプション