半導体搬送ロボット

SCR3130CS3軸円筒座標型クリーンロボット

  • SCR3130CS

環境と仕様

製品概要

モデル名
SCR3130CS
設置環境
クリーンルーム内大気
アーム
シングルアーム
到達距離
280 mm (第3関節中心距離)
昇降距離
200 mm / 300 mm / 400 mm / 450 mm / 500 mm / 550 mm / 600 mm
可搬重量
3 kgf (第3関節換算)

製品動画

動画はSCR3160CS-300-PMです

製品型式一覧

型式と昇降距離(mm)
SCR3130CS-200-PM200 mm
SCR3130CS-300-PM300 mm
SCR3130CS-400-PM400 mm
SCR3130CS-450-PM450 mm
SCR3130CS-500-PM500 mm
SCR3130CS-550-PM550 mm
SCR3130CS-600-PM600 mm

製品特徴

スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットです。
EFEMや半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。

  • アームバリエーション:100 mm, 130 mm, 160 mm, 200 mm
  • 装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能
  • 動作モニター装備
  • 制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O
  • 全軸2相ステッピングモータ使用
  • S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送
  • ウェーハ保持:真空吸着、落とし込み、エッジグリップチャック
  • チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能
  • 被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能

標準仕様

本仕様は当社標準チャック(吸着タイプ)装着時の標準仕様の一例です
ロボット仕様
ロボット型式SCR3130S-200-PM
リストブロックSARS00169
チャックSC-YW-240
被搬送物〜300 mmウェーハ
ウェーハ保持方式チャックによる真空吸着
機械構造形式円筒座標型
制御軸3軸
モータタイプステッピングモータ
動作範囲ワーク中心到達距離:492.7 mm
旋回角度(θ軸):340度
上下ストローク(Z軸):200 mm
搬送速度(平均)アーム(R軸):500 mm/sec
旋回角度(θ軸):340度/sec
上下ストローク(Z軸):200 mm/sec
搬送速度(最高)アーム(R軸):1000 mm/sec
旋回角度(θ軸):500度/sec
上下ストローク(Z軸):250 mm/sec
繰り返し精度±0.1 mm以内
クリーン度ISOクラス2(駆動部排気時)
ユーティリティ電源:DC24V±10% 15A 真空:-53 kPa以上
質量ロボット本体 約20 kg
コントローラ仕様
コントローラ型式C4000シリーズ
インタフェースRS232C及びパラレルフォトI/O

 外観図ダウンロード

 外観図(標準仕様)

  • SCR3130CS

オプション

リストブロックユニット
型式 リストブロック長 マッピングセンサ 取付チャック厚
SARS00169 38 mm なし 2 mm
SARS00958 38 mm なし 3 mm
SARS02659 75 mm なし 2 mm
SARS02967 75 mm なし 3 mm
SARS08603 80 mm 透過センサ/反射型センサ 2 mm

※上記は当社標準リストブロックユニットの仕様です。表にない仕様にも対応可能です。
※当社標準以外のリストブロックユニットは下記アイテムをクリックするとご覧頂けます。

チャックユニット
型式 披搬送サイズ チャック形状(チャック厚) 保持方式
SC-IW-200 3'',100 mm〜200 mm I 型(2 mm) 吸着保持
SC-IW-240 3'',100 mm〜300 mm I 型(2 mm) 吸着保持
SC-YW-200 100 mm〜200 mm Y 型(2 mm) 吸着保持
SC-YW-227 100 mm〜300 mm Y 型(2 mm) 吸着保持
SC-YW-240 100 mm〜300 mm Y 型(2 mm) 吸着保持
3D-02229 150 mm〜300 mm Y 型(2 mm) 吸着保持
SC3-YW-240 300 mm Y 型(3 mm) 吸着保持
3D-01661 300 mm Y 型(3 mm) 吸着保持

※上記は当社標準チャックユニットの仕様です。表にない仕様にも対応可能です。
※当社標準以外のチャックユニットは下記アイテムをクリックするとご覧頂けます。

到達距離
チャック/リストブロック SARS00169 SARS02659 SARS08603 SARS00958 SARS02967
SC-IW-200 442.7 mm 505 mm 510 mm - -
SC-IW-240 482.7 mm 545 mm 550 mm - -
SC-YW-200 452.7 mm 515 mm 520 mm - -
SC-YW-227 479.7 mm 542 mm 547 mm - -
SC-YW-240 492.7 mm 555 mm 560 mm - -
3D-02229 492.7 mm 555 mm 560 mm - -
SC3-YW-240 - - - 492.7 mm 555 mm
3D-01661 - - - 492.7 mm 555 mm
※表記の到達距離はリストブロックユニット及びチャックの組み合わせによる一例です。上記以外にも設定可能です。
その他のオプション

※仕様により上記ティーチングボックスが使用できない場合があります。