展示会情報 2012年

SEMICON JAPAN 2012

会期
2012年12月05日(水)~07日(金)
主な展示機種
  • 450mmウェーハ搬送ロボット/アライナ
  • 反り、薄物ウェーハ対応ベルヌーイチャック(ジェーイーエル製)
  • 薄物150、200mmウェーハ対応ツインアーム反転機構付ロボット/アライナ
  • 2、3インチ、100~150mmウェーハ対応小型搬送ロボット/アライナ

SEMICON TAIWAN 2012

会期
2012年09月05日(火)~07日(木)
主な展示機種
  • 6インチ・12インチウェーハ用ベルヌーイハンド
  • SCR3100S-200-PM(ベルヌーイタイプ)
  • SCR + SAL3261GR
  • サセプタ、トレイへのロード/アンロードシステム:SSY-10020

OPTO TAIWAN 2012

会期
2012年06月19日(火)~21日(木)
主な展示機種
  • SCR3100S-200-PM(ベルヌーイタイプ)
  • SCR + SAL3261GR
  • サセプタ、トレイへのロード/アンロードシステム:SSY-10020

SEMICON CHINA 2012

会期
2012年03月20日(火)~03月22日(木)
主な展示機種

第4回次世代照明技術展

会期
2012年01月18日(水)~01月20日(金)
主な展示機種
  • バッチ(サセプタ、トレイ)へのロード/アンロードシステム:
    「SSY-10020」
  • 反り、薄物ウェーハ対応チャック
  • 2インチウェーハ対応超小型搬送ロボット/アライナ:
    「SSCR3090S-150-PM/SAL2241」
  • 卓上ローダーシステム:
    「SSY-10000」