半導体搬送ロボット

STCR4130S4軸円筒座標型クリーンロボット

  • STCR4160S

環境と仕様

製品概要

モデル名
STCR4130S
設置環境
クリーンルーム内大気
アーム
ツインアーム
到達距離
255 mm (第3関節中心距離)
昇降距離
200 mm / 300 mm / 400 mm / 450 mm / 500 mm / 550 mm / 600 mm
可搬質量
3 kg (第3関節換算)

製品動画

動画はSTCR4160S-300-PMです

製品型式一覧

型式と昇降距離(mm)
STCR4130S-200-PM200 mm
STCR4130S-300-PM300 mm
STCR4130S-400-PM400 mm
STCR4130S-450-PM450 mm
STCR4130S-500-PM500 mm
STCR4130S-550-PM550 mm
STCR4130S-600-PM600 mm

製品特徴

スーパークリーンルーム用4軸円筒座標型クリーンロボットです。
EFEMや半導体製造装置内、検査装置等のウェーハを高速に搬送することができます。

  • アームバリエーション:100 mm, 130 mm, 160 mm, 200 mm
  • ツインアームによりウェーハ交換時間の短縮
  • 装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能
  • 動作モニター装備
  • 制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O
  • 全軸2相ステッピングモータ使用
  • S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送
  • ウェーハ保持:真空吸着、落とし込み、エッジグリップチャック、ベルヌーイチャック
  • チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能
  • 被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能

標準仕様

本仕様は当社標準チャック(吸着タイプ)装着時の標準仕様の一例です
ロボット仕様
ロボット型式STCR4130S-200-PM
リストブロックSART08674
チャックSC-YW-240
被搬送物〜300 mmウェーハ
ウェーハ保持方式チャックによる真空吸着
機械構造形式円筒座標型
制御軸4軸
モータタイプステッピングモータ
動作範囲ワーク中心到達距離:515 mm
旋回角度(θ軸):340度
上下ストローク(Z軸):200 mm
搬送速度(平均)アーム(R軸):470 mm/sec
旋回角度(θ軸):220度/sec
上下ストローク(Z軸):170 mm/sec
搬送速度(最高)アーム(R軸):940 mm/sec
旋回角度(θ軸):270度/sec
上下ストローク(Z軸):210 mm/sec
繰り返し精度±0.1 mm以内
クリーン度ISOクラス2(駆動部排気時)
ユーティリティ電源:DC24V±10% 16A
真空:-53 kPa以上
質量ロボット本体 約30 kg
コントローラ仕様
コントローラ型式C4000シリーズ
インタフェースRS232C及びパラレルフォトI/O

 外観図ダウンロード

 外観図(標準仕様)

  • STCR4130S

オプション

リストブロックユニット
型式 リストブロック長 マッピングセンサ 取付チャック厚
SART08674 60 mm   2 mm
SART08604 60 mm   2 mm
SART08675 155 mm   2 mm
SART08661 155 mm あり 2 mm
SART08676 60 mm   2 mm
SART08668 60 mm あり 2 mm

※上記は当社標準リストブロックユニットの仕様です。表にない仕様にも対応可能です。
※当社標準以外のリストブロックユニットは下記アイテムをクリックするとご覧頂けます。

チャックユニット
型式 披搬送サイズ チャック形状(チャック厚) 保持方式
SC-IW-200 3'',100 mm〜200 mm I 型(2 mm) 吸着保持
SC-IW-240 3'',100 mm〜300 mm I 型(2 mm) 吸着保持
SC-YW-200 100 mm〜200 mm Y 型(2 mm) 吸着保持
SC-YW-227 100 mm〜300 mm Y 型(2 mm) 吸着保持
SC-YW-240 100 mm〜300 mm Y 型(2 mm) 吸着保持
3D-02229 150 mm〜300 mm Y 型(2 mm) 吸着保持
SC3-YW-240 300 mm Y 型(3 mm) 吸着保持
3D-01661 300 mm Y 型(3 mm) 吸着保持

※上記は当社標準チャックユニットの仕様です。表にない仕様にも対応可能です。
※当社標準以外のチャックユニットは下記アイテムをクリックするとご覧頂けます。

到達距離
チャック/リストブロック SART08674 SART08604 SART08675 SART08661 SART08676 SART08668
SC-IW-200 465 mm 465 mm 560 mm 560 mm 465 mm 465 mm
SC-IW-240 505 mm 505 mm 600 mm 600 mm 505 mm 505 mm
SC-YW-200 475 mm 475 mm 570 mm 570 mm 475 mm 475 mm
SC-YW-227 502 mm 502 mm 597 mm 597 mm 502 mm 502 mm
SC-YW-240 515 mm 515 mm 610 mm 610 mm 515 mm 515 mm
3D-02229 515 mm 515 mm 610 mm 610 mm 515 mm 515 mm
SC3-YW-240 515 mm 515 mm 610 mm 610 mm 515 mm 515 mm
3D-01661 515 mm 515 mm 610 mm 610 mm 515 mm 515 mm

※表記の到達距離はリストブロックユニット及びチャックの組み合わせによる一例です。上記以外にも設定可能です。

その他のオプション

※仕様により上記ティーチングボックスが使用できない場合があります。