サーボモータを使用した当社ロボットの一覧表です。
当社製品型式においてサーボモータを使用したロボットへは「AM」が表記されます。
例:GCR4210-300-AM(サーボモータ)
機種 | アーム/ チャック |
機械構造 | モータ仕様 | 被搬送物 |
---|---|---|---|---|
GCR4210 (サーボモータ仕様) |
4軸水平 多関節型 |
ACサーボモータ | 〜300 mmウェーハ | |
GCR4280 (300 mmウェーハ搬送) |
4軸水平 多関節型 |
ACサーボモータ | 300 mmウェーハ | |
GTCR5280 (300 mmウェーハ搬送) |
5軸水平 多関節型 |
全軸ACサーボモータ | 〜300 mmウェーハ | |
GTFR5280 (300 mmウェーハ対応) |
5軸水平 多関節型 |
全軸ACサーボモータ (バッテリレス) |
〜300 mmウェーハ | |
GTVCR5330 | 5軸真空水平 多関節型 |
全軸ACサーボモータ | 〜300 mmウェーハ | |
JCR4400 (PLP対応自動アライメント 機能付ロボット) |
4軸水平 多関節型 |
ACサーボモータ | 500 mm x 500 mm 基板 | |
JVCR4330 | 4軸真空水平 多関節型 |
ACサーボモータ | 700 mm サセプタ(10 kg) | |
MCR3160C | 3軸円筒 座標型 |
全軸ACサーボモータ | ~300 mmウェーハ | |
MTCR4160 | 4軸円筒 座標型 |
全軸ACサーボモータ | ~300 mmウェーハ | |
MTCR4200 | 4軸円筒 座標型 |
全軸ACサーボモータ | ~300 mmウェーハ | |
STVCR4160 (サーボモータ仕様) |
4軸円筒 座標型 |
全軸ACサーボモータ | ~300 mmウェーハ | |
STVCR4190(サーボモータ アブソリュート エンコーダ仕様) |
4軸円筒 座標型 |
全軸ACサーボモータ | 300 mmウェーハ |