ベルヌーイチャックの吸着確認
ベルヌーイチャックの吸着確認が可能なサイズは150mm, 200mm, 300mmです。
アライメント精度測定
測定治具を使用してお客様のウェーハを使用したアライメントの精度測定ができます。
ロボット操作のトレーニング
Jテクセンターでは、ロボットの実機を使用したトレーニングができます。
Jテクセンターは、ロボットやベルヌーイチャックなどのジェーイーエル主力製品を中心とした展示を行っているショールームです。
事前にご連絡頂ければ、お客様のワークを使用してロボットの動作確認を行うことも可能です。
また、実機を使用して操作のトレーニングも行っておりますので、お気軽にご利用ください。
※ご利用頂くには、事前予約が必要です。
スーパークリーンルーム用多軸タイプの4軸水平多関節型クリーンロボット。 300 mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。
1台のロボットと1台のアライナで、2、3インチ、100～150mmウェーハに対応します。コンパクトかつフレキシビリティに富んだ装置をご提案致します。
搬送ロボットとして世界最小クラスのボディサイズを実現しました。アライナは2、3インチ、100mmウェーハのアライメントを1台で行います。
LED用をはじめとする小径ウェーハ専用に開発され、2、3インチ、100mmウェーハ搬送での省フットプリントを実現した大気用搬送ロボットです。 ロボットはアームレスとリンクアームの2種類を用意しました。
薄物ウェーハ、照明用小型ガラス基板の搬送をベルヌーイチャックで搬送提案します。アライナは薄物150、200mm兼用の薄物ウェーハ用です。
2、3インチ、100mm ガラス、サファイア、SiC、GaN、等々のウェーハやガラス基板に対応。卓上にある顕微鏡や検査装置の半自動化を行うのに最適です。
新提案のLED用をはじめとするウェーハ搬送システムです。化合物ウェーハの処理装置に多く見られるウェーハをトレイに搬送します。
多くのお客様のニーズにお応えし、反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに対応し、コストパフォーマンスに優れたベルヌーイチャックを開発しました。お客様のコンセプトに合わせたチャック形状の提案を行います。
