ステッピングモータを使用した当社ロボットの一覧表です。
当社製品型式においてステッピングモータを使用したロボットへは「PM」が表記されます。
例:GCR4210-300-PM(ステッピングモータ)
機種 | アーム/ チャック |
機械構造 | モータ仕様 | 被搬送物 |
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SCR3100S (小径ウェーハ用) |
3軸円筒 座標型 |
ステッピングモータ | ~150 mmウェーハ | |
SCR3130CS | 3軸円筒 座標型 |
ステッピングモータ | 〜300 mmウェーハ | |
SCR3160CS | 3軸円筒 座標型 |
ステッピングモータ | 〜300 mmウェーハ | |
SSCR3090S (小径ウェーハ用) |
3軸円筒 座標型 |
全軸ステッピングモータ | ~100 mmウェーハ | |
STCR4130S | 4軸円筒 座標型 |
ステッピングモータ | 〜300 mmウェーハ | |
STCR4160S | 4軸円筒 座標型 |
ステッピングモータ | 〜300 mmウェーハ | |
STCR4160S (ツインアーム反転機構付) |
4軸円筒 座標型 |
ステッピングモータ | 150 mm, 200 mmウェーハ |
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STCR4160SN (薄物ウェーハ及び ウェーハ周辺接触吸着対応) |
4軸円筒 座標型 |
ステッピングモータ | 〜300 mmウェーハ | |
STWCR4160 (防水対応) |
4軸円筒 座標型 |
2相パルスモータ | 〜300 mmウェーハ | |
SVCR3160 | 3軸円筒 座標型 |
全軸2相 ステッピングモータ |
~300 mmウェーハ | |
SVCR3190 (高剛性仕様) |
3軸円筒 座標型 |
全軸2相 ステッピングモータ |
〜300 mmウェーハ | |
SVCR3260 | 3軸円筒 座標型 |
全軸2相 ステッピングモータ |
~300 mmウェーハ | |
SVCR3330S (サセプタ・トレイ搬送仕様) |
3軸円筒 座標型 |
全軸2相 ステッピングモータ |
342 mmトレイx2 (代表例) |
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SWCR3160CS (防水対応) |
3軸円筒 座標型 |
2相パルスモータ | ~300 mmウェーハ |